一、設(shè)備簡(jiǎn)介：

　　1、采用準(zhǔn)零剛度隔振技術(shù)并配合精密步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，垂向固有頻率可低至0.4Hz;

　　2、垂向剛度可調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)，滿足不同隔振及穩(wěn)定性要求;

　　3、多自由度隔振能力，滿足不同方向隔振需求;

　　4、自主開發(fā)的UI軟件，可根據(jù)客戶設(shè)備及現(xiàn)場(chǎng)安裝條件進(jìn)行調(diào)試，提供專業(yè)解決方案。

　　二、應(yīng)用領(lǐng)域：

　　掃描電子顯微鏡、微硬度計(jì)、表面粗糙度計(jì)、3D輪廓測(cè)量?jī)x、 光學(xué)隔振平臺(tái)、透射電鏡、掃描探針顯微鏡以及其他超精密測(cè)量?jī)x器及光學(xué)設(shè)備。

　　三、控制界面：