據(jù)了解，《超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀》是國(guó)家“十三五”重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)項(xiàng)目，分別獲得國(guó)家科技部2000萬(wàn)元、成都高新區(qū)200萬(wàn)元資金支持，由企業(yè)牽頭，協(xié)同國(guó)內(nèi)多家技術(shù)實(shí)力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學(xué)、研、用相結(jié)合的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)共同實(shí)施。超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀主要用于高精度非接觸測(cè)量，可以廣泛應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體照明以及太陽(yáng)能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)的快速檢測(cè)，還可應(yīng)用于大型現(xiàn)代光學(xué)工程系統(tǒng)。

　　據(jù)介紹，該項(xiàng)目將通過(guò)專(zhuān)項(xiàng)帶動(dòng)，集成國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)力量重點(diǎn)創(chuàng)新，解決高精度超光滑表面無(wú)損檢測(cè)的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)高端超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀器國(guó)產(chǎn)化，替代國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品，打破國(guó)外公司的技術(shù)壟斷和價(jià)格壁壘。

　　成都高新區(qū)科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，獲得國(guó)家重大科技創(chuàng)新項(xiàng)目立項(xiàng)支持且項(xiàng)目國(guó)撥資金到位的成都高新區(qū)企業(yè)，可按照國(guó)撥資金實(shí)際到位額的10%進(jìn)行配套資助申請(qǐng)，同一項(xiàng)目申請(qǐng)金額高不超過(guò)200萬(wàn)元，同一家企業(yè)同一年度申請(qǐng)?jiān)擃?lèi)資金額度高不超過(guò)200萬(wàn)元。

　　“未來(lái)五年，成都高新區(qū)將每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持*大學(xué)科研成果在區(qū)內(nèi)轉(zhuǎn)化;每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持國(guó)內(nèi)外專(zhuān)業(yè)企業(yè)研發(fā)中心在區(qū)內(nèi)落戶(hù);每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持引進(jìn)高端人才到成都高新區(qū)發(fā)展。”

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